硅片是太陽能電池的載體。硅片的好壞直接決定了太陽能電池的轉換效率。因此，有必要對來料的硅片進行檢查。該工藝主要用于硅片部分技術參數的在線測量。這些參數主要包括硅片表面不平整度、少數載流子壽命、電阻率、P/N型和微裂紋。本組設備分為自動上下料、硅片傳輸、系統集成部分和檢測模塊四大模塊。其中，光伏硅片檢測儀檢測硅片表面的不平整度，同時檢測硅片的尺寸和對角線等外觀參數；微裂紋檢測模塊用于檢測硅片內部的微裂紋；還有兩個測試模塊，一個在線測試模塊主要用于測試硅片體電阻率和硅片類型，另一個模塊用于檢測硅片的少數壽命。在檢測少數載流子壽命和電阻率之前，需要檢測硅片的對角線和微裂紋，并自動去除損壞的硅片。硅片檢測設備可以自動上下料晶片，可以將不合格產品放置在固定位置，從而提高檢測精度和效率。

單晶硅絨面革是利用硅的各向異性腐蝕，每平方厘米硅表面形成數百萬個四面體金字塔或金字塔結構而制備的。由于入射光在表面多次反射和折射，增加了對光的吸收，提高了電池的短路電流和轉換效率。硅各向異性蝕刻液通常使用熱堿溶液，可用的堿包括氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鋰和乙二胺。大多采用廉價的1%左右的稀氫氧化鈉溶液制備絨面硅，腐蝕溫度70-85℃。為了得到均勻的麂皮，還應在溶液中加入乙醇、異丙醇等醇類作為絡合劑，加速硅的腐蝕。在準備絨面革之前，必須先在表面蝕刻硅片，用堿性或酸性蝕刻液蝕刻約20-25μm。麂皮被腐蝕后，進行一般的化學清洗。已經表面處理過的硅片不要長時間存放在水中，防止污染，應盡快擴散成型。